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マルチサイト信頼性試験システム

【MSR - Multi Site Reliability】
- 多点測定、ウェハーレベル信頼性試験
- TDDB、NBTI、EM、HCI、BT等の測定
- IV測定、CV測定、パルス高電圧・大電流測定
- プローバとのシステム販売(右図はマニュアル型)
- 既存プローバとの接続可能(改造承ります)
- オートプローバとの自動測定システム(ソフト制御)
- システム概観(オートプローバシステム)
- システム概観(セミオートプローバシステム)

マルチサイト信頼性試験システム

ウェハーレベルバーンイン

【MSR-BTEシステム】
- マニュアルプローバ・セミオート/オートプローバ対応
- 6インチ、8インチ、12インチ対応
- マルチサイトプローブカード取り付け
- 低温〜高温対応(高温は最大300度)
- 既存の測定器を組み込んでシステム構築可能
- プローバ周りの改造、設計承ります
- 長時間連続通電⇒特性確認⇒通電⇒温度変化
- 測定シーケンスを分かりやすいGUIで設定⇒全自動
- プローブ制御ソフト(HOTEI-WMT)

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ウエハレベルバーンイン

ウェハーレベル高電圧・大電流測定装置

【FAT probe System】
- 200A、2500V対応、ウェハー/チップレベル対応
- 電流リミッター機能(特許)搭載でプローブを保護
- L負荷測定、R負荷測定、DC測定などオプション選択
- 組立て前のデバイス「単体」特性が可能に!
- チップ単体vs組立て後の性能比較が可能に!
- スイッチング特性、アバランシェ特性など
- 低い寄生成分(L/C/R)を達成、テストヘッド構造
- Lava、Vava、Td、Tf、Vsurge等のパラメータ自動測定
- オートプローバとの接続、自動測定可能
- 研究開発向け、マニュアルプローバタイプも対応
- EWSからの自動制御(プローバ含む)、データ解析
- UPSや安全電源回路付き

ウエハレベル高電圧・大電流測定装置

高電圧パラメトリックテスター

【Tiatech TS-9000】
- 完全自動パラメトリックテストシステム
- 10μV〜1000V、100pA〜10A対応
- CV測定対応(オプション)
- PulseIVやPulse印加も可能(オプション)
- 4ピン〜200ピンの多ピンまで対応
- 自動オペレーションGUI
- フルキャリブレーション・DIAG機能
- 測定スピード切り替えモード
- プローバインテグレーション可能
- プローブカードの用意も可能
- MESやCIMとの通信が可能

高電圧パラメトリックテスター

半導体デバイス故障解析システム

【Laser-Emission-DC System】
- コンセプト:1台で故障解析全て可能!One-Stop!
- 300mmウェハー対応
- チャック温度: -65度〜300度
- DC測定器(8SMU、1fA〜1A、1μV〜200V)
- スイッチングマトリクス(48pin対応)
- プローブカード/ポジショナーの両対応
- レーザーカッター装備
- エミッション顕微鏡装備

 

レーザー・エミッションDCシステム

プローブカードアナライザー

【プローブカードアナライザー】
- プローブカード検査&リペア装置
- 大口径カードからカスタムカードまで対応
- 最大で12,000chのリレーボード対応
- 大口径カード用12インチ×8インチの稼動範囲
- 最大200kgのチャック上グラムフォースサポート
- PB6000、PB3000、PB1000シリーズ、計5モデルを用意
- オプションでリペア用ProbeTrackerを用意
- 廉価版あります

プローブカードアナライザ

バーンインテスター

【Model-503xシリーズ】
- ハイパワー、ミディアムパワー、ローパワーの3機種
- ハイパワーは40W以上のデバイス、ガス冷却方式
- ミディアムパワーは0W〜40Wで水冷式を採用
- ローパワーは1W以下でチャンバー方式を採用
- 超温度制御/超ハイパワー用液体漬けバーンイン開発中
- 自動搬送&ピックアンドプレイスオプションあり(右図)
- 最大768DUT同時テスト
- 最大750Wまでのデバイスを測定(ハイパワー版)
- JEDECトレイ対応、クラシフィケーション対応
- JTAGテストやデジタルパターンテスト対応

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バーンインテスター

LDバーンインテスター

【レーザーダイオードファンクションテスター】
- レーザーダイオードに特化したファンクショナルバーンイン
- 最大100Aまでの電流印加可能
- 最大出力パワーは150W
- 標準96チャンネル(最大192チャンネル)
- 設定温度以上の上昇防止機能搭載
- オープン状態保護機能付
- ユーザーフレンドリーGUI搭載

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レーザーダイオードファンクションテスター

Rg / Qg テスト装置

【ITC59100】
- ゲートチャージテスト/ゲートレジスタンステスト両対応
- MOSFET / IGBTパッケージデバイス
- 最大ドレイン電流100A
- 最大ドレイン電圧100V
- 最大ゲート電流10mA ±20V
- ケルビンコンタクトテストが可能
- テストサイトマルチプレクサ対応(オプション)

マルチサイト信頼性試験システム

ESD試験装置

【GTS社製 HBM試験機】
- ウェハーレベルでESD試験が可能
- セミオートプローバで面内自動測定
- 1台でパッケージ測定も可能
- 測定後、スコープでIVカーブが描ける
- 寄生成分を極限に抑えたシステム構成
- 消耗品不要、低COOを実現
- 既存プローバへのシステム構築可能


ESD試験装置

エミッション・レーザー解析装置

【エミッション・レーザー解析装置】
- 20nmの高解像度ステージ(0.5umの再現性)
- 2000×2000以上の高解像度レーザスキャナ
- 高出力NIRレーザー
- バックサイド・フロントサイド解析モード対応
- 複数の検出器へ対応:Si-CCD, INGaAs, InSb
- 屈折・回折SILレンズ(固浸レンズ)対応
- テスタードッキングも可能なフレキシブルな構成
- OBIRCHを超える独自高感度アプリケーション
 - レーザーマーカー等様々なオプション対応


SEMICAPS エミッション・レーザー解析装置

マトリクス機能付フィクスチャー

【MRD Matrix Switch】
- 極小フットプリントのスイッチ(305mm x 229mm)
- 重さ3.78kgで軽量
- 最大200V/1Aまで
- 100V印加時、50pAの微小電流保証
- 最大4つのトライアキシャルコネクタ入力
- 最大28pinの出力
- 出力パネルはZIFソケットやコネクタなど取替え可能
- GP-IB制御可能(SCPIコマンド)
- カスタム設計承ります

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マトリクス機能付フィクスチャー

抵抗率・シート抵抗測定器

【抵抗率・シート抵抗測定器】
- デュアル構成4プローブ法がエッジエフェクト問題を解消
- タングステンニードル等様々なプローブに対応(カスタム可)
- 幅広い測定サイズ(1200mm×1200mm等カスタム品も可能)
- ポータブル,デスクトップ,オート,フレキシブルな製品種類
- 様々なプローブヘッドに対応
- 測定レンジ:4mΩ/sq.〜1GΩ/sq.(デスクトップ・オートタイプ)
- 自動測定レンジ切り替え(オートタイプ)
- データ解析機能付専用ソフトウェア(オートタイプ)
- 半導体薄膜,シリコンウエハ,太陽電池,フラットパネル等対応

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低効率・シート抵抗測定器

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