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プローブ・プローバ
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大電流測定用プローブ

【CJ probe】
- 新コンセプトの大電流用プローブ
- ポジショナやプローブカードへの取付
- 既存プローバに搭載可能
- 超低接触抵抗(SuperLowCres)<3mΩ
※測定条件は営業へ確認ください
- 同軸プローブ(1本中にForce / Senseの2本搭載)
- 測定前の接触抵抗値確認が可能
- 最大電流250A(Pulse幅、Dutyは営業へ確認ください)
- 痛んだプローブは取替え可能


大電流測定用プローブ

ニードル

- タングステン、BeCuプローブ
- 先端径各種

>>ニードル在庫品情報はこちら

ニードル

大電流測定用プローブ

【男プローブ】
- 新しいコンセプトの大電流印加・測定用プローブ
- 最大電流100Aを記録!(パルス条件下)
- ポジショナーやプローブカードへの取り付け自由
- 既存設備にそのまま搭載可能
- 大電流測定時の発熱を分散させる面プローブ構造
- 電圧・電流など、用途に合わせてサイズ変更可能
- タッチダウン時のコンタクト抵抗は1Ω以下
- プローブの先端径は自由にデザイン可能
- 痛んだプローブは取替え可能(弊社返送・取替え)
- プローブの材質は数種類から選択可能
- 超大電流用途は耐超高温物質埋め込み可能
- ケルビン接続用でケーブルをForceとSense分け可能


大電流測定用プローブ

男プローブ・ブレードオプション

【男プローブ】
- ブレードは通常1〜5枚、最大10ブレードまで可能
- 千鳥配置、多数配線もオプションで可能
- ブレードの先端径は最小50μmから用意
- ブレードの先端形状は丸・正方形・長方形等自由
- バネの圧力を変えて針圧を3g〜30gまで設計可能
- タッチダウン時のコンタクト抵抗は1Ω以下
- 最大200A実験を既に実証済み

男プローブ

男プローブ・プローブカードオプション

【男プローブ】
- Emitter/Collector用に男プローブ、Gate用に通常プローブ
- Drain/Source用に男プローブ、Gate用に通常プローブ
- ゲート抵抗を取り付けるオプション有
- プローブカードの基板サイズは自由に選択可能
- エッジコネクタタイプも対応(但し最大電流・電圧制限有)
- カードホルダー高さとプローブ高さ設計変更可能
- 基板名(名入れ)対応
- 対応コネクタを弊社へ支給⇒弊社がアセンブリ対応
- プローブポジション微調整機構有

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大電流 プローブカード

男プローブ・オートプローバ用アダプタ

【男プローブ】
- TEL-19S用ポジショナーのアダプター
- 各種プローバ・ポジショナータイプの取り付けデザイン
- 特殊デザイン受けます
- 右のサンプルは5枚Bladeで独立ケーブル出し
- 3D CADでデザイン提案⇒製作します

男プローブ・オートプローバ用アダプタ

8インチウェハー型チップ測定キャリア

【チップキャリア】
- 裏面が電極である場合の測定が可能
- 寄生成分を極限に抑えた測定が可能
- チップ単体のエネルギー破壊観察が可能
- プローバのチャックを使わず測定する優れもの
- オートプローバに搭載、ローディング出来る8'サイズ
- 高低温タイプ(-40C〜200C)タイプ、常温タイプ各種
- 裏面電極でケルビン接続可能
- 電極面は金メッキを施します
- デバイスにあわせた設計を行います
- 納期は設計を含め1ヶ月〜3ヶ月程度(内容次第)
- プローバのチャックを傷つけず破壊実験可能

 

チップ測定キャリア

ウエハキャリア

【ウエハキャリア】
- チャックを簡単にケルビンチャックに改造
- オートプローバに搭載、ローディング可能
- 各種プローバに合わせたカスタム設計
- 裏面電極測定用端子を追加(Kelvin対応)
- パワーデバイス破壊試験時用として
- DUT破壊による付着物からチャックを保護

 

チップ測定キャリア

フィンプローブ

【フィンプローブ】
- ポジショナー(マニュピレータ)取り付け型カード
- 高低温(-65C〜350C)対応オプション有
- マニュアルやオートプローバでの利用が可能
- プローブカードとしても利用可能(ケースオプション)
- 最大電流20Aを保証(測定・環境・設計条件有)
- 最大電圧3000Vを保証(測定・環境・設計条件有)
- 1pAの低リークが可能

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フィンプローブ

丸タイル型ポジショナー(針)

【エンジェルリングカード】
- ポジショナー(マニュピレータ)取り付け型カード
- 高低温(-65C〜350C)対応オプション有
- マニュアルやオートプローバでの利用が可能
- プローブカードとしても利用可能(ケースオプション)
- 最大電流20Aを保証(測定・環境・設計条件有)
- 最大電圧3000Vを保証(測定・環境・設計条件有)
- 1pAの低リークが可能

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丸タイル型ポジショナー

高温ウエハ一括コンタクトプローブカード

【侍プローブカード】
- マルチサイトで一括コンタクト
- 4〜12インチ対応
- 高温対応(常温〜350℃)
- オリジナルチョンマゲ型プローブだからバネ性で膨張追従!
- 狭ピッチパッド対応(80umパッド〜)
- 基盤名(名入れ)対応
- 国産だから、国内での調整/修理が可能、早い、安い!
- 短納期

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ウエハ一括コンタクト用プローブカード

ウェハ一括コンタクト用プローブカード

【マルチサイトプローブカード】
- 300mm全面一括プローブカード(マルチサイトカード)
- 4ピン、100サイト=400ピンのカードなど製作可能
- セラミックを使用している為、高温対応(〜300度)
- 針埋没固定方式(特許)なので接着剤による熱影響ゼロ
- 顕微鏡サイドに針位置あわせ用穴、空けられます
- 長期信頼性試験(TDDB、NBTI、HCI、EM等)に最適
- 各種プローバに取り付け可能
- 角型タイプ(最大114mm角セラミック)もあります
- オートプローバに角型タイプも取り付け可能

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ウエハ一括コンタクト用プローブカード

TEG測定用プローブカード

【TEG測定用汎用プローブカード】
- TEG測定用、廉価版プローブカード
- アジレント用プローブカード、KEITHLEY用カードなど
- GSGカード等も製作可能
- 高周波CV用、PinGND-PinGNDジャンパー加工
- 汎用性を高める「ポジショナーONカード」も対応

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TEG用プローブカード

ジョイスティック型ポジショナー

【ジョイスティックポジショナー】
- 2軸(X−Y軸)がジョイスティックで動作
- ポジショナーが斜め移動!最速ポジショニング
- 測定箇所までの最速移動⇒測定の効率化
- 推奨パッドサイズは90μm以上
- ジョイスティック動作硬さ調整機構付き
- 磁石・真空取り付けの2タイプ用意(購入時指定)

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ジョイスティック型ポジショナー

セラミック高電圧プローブ

【Celamic HV Probe】
- 高電圧プローブ+アームセット
- 最大3000Vまでの耐圧保証
- リーク保証は10V印可時<10pA
- 最大チャック温度が300度まで保証
- MAX電流は1A
- コネクタはSHVコネクタ
- 特注で最大5本/アームまで搭載可能
- 各種ケーブル種類対応
- 依頼コネクタへのアセンブリも対応

セラミック高電圧プローブ

低ノイズ・マニュアルプローバ

【低ノイズ・マニュアルプローバ】
- 6インチ、8インチ、12インチ設計対応可能(右図8インチ)
- ポジショナーは最大8式まで搭載可能(要相談)
- プローブカードアダプタの設計可能
- 顕微鏡の倍率は選択可能
- 低ノイズは100fA以下を保証
- チャックは各種取り付け可能(最大350度まで)
- 低温はこのタイプでは不可(別設計になります)
- 各種コネクタパネル設計します
- デザインは色々、下記からお問い合わせください。

低ノイズ マニュアルプローバー

低ノイズ・セミオートプローバ

【低ノイズ・セミオートプローバ】
- 6インチ、8インチ、12インチ設計対応可能(右図12インチ)
- ジョイスティックでの動作、ソフトからの動作対応
- ウェハーマップソフト(WMT)との連携対応
- ポジショナーは最大8式まで搭載可能(要相談)
- プローブカードアダプタの設計可能
- 顕微鏡の倍率は選択可能
- 低ノイズは100fA以下を保証
- チャックは各種取り付け可能(最大300度まで)
- 低温の対応も可能(-40度)
- 各種コネクタパネル設計します
- デザインは色々、下記からお問い合わせください。

低ノイズ セミオートプローバー

簡易型・マニュアルプローバ

【簡易版・マニュアルプローバ】
- 1インチ〜12インチまで自由に設計可能
- ポジショナーのタイプも自由に選択可能
- シールドボックス(暗箱)オプション有
- 顕微鏡も倍率選択可能
- プローブカードの取り付け冶具設計可
- 各種コネクタパネル設計します
- デザインは色々、下記からお問い合わせください。

簡易型 マニュアルプローバ

大電流用小型プローバ

【大電流・マニュアルプローバ】
- 2インチ、4インチ、6インチ、8インチ対応
- ポジショナーは最大8台まで搭載可能
- 男プローブ搭載可能(〜100A、〜3kV)
- オプションで最大電流200Aまで可能
- 大電流用ウェハーキャリア搭載可能
- 顕微鏡の倍率は選択可能
- プローブカードアダプタの設計可能
- 高温(〜400度まで)対応可能
- 各種コネクタパネル設計します

簡易型 マニュアルプローバ

高精度・高低温ウェハーチャック

【高低温ウェハーチャック】
- 6インチ、8インチ、12インチ対応可能
- エアークールタイプで-50度〜300度対応可
- 温度帯域を自由に選択
- ガルデン等の流体を使わないから環境に優しい
- GPIB、シリアルなどでの制御可能
- WMT(ウェハーマップツール)との連動可能
- 安全制御回路搭載

高精度・低温ウエハチャック

廉価版・高温チャック

【廉価版・高温チャック】
- 安価をコンセプトにデザインされたウェハーチャック
- 高温は最大350度まで(通常200度)
- 裏面電極がない場合に有効
- 1インチ〜8インチまで製作可能
- トライアキシャルオプションありますが、ノイズ有
- その他、ノイズを多少押さえた輸入品もあります

廉価版・高温チャック

各種コネクタ

【各種コネクタ】
- TRX-T
- BNC-T
- SMA
- トライアキシャル to SMAコネクタ
- トライアキシャル to BNCコネクタ
- MicroCoax
- コネクターパネル
- その他各種コネクタ
- 特殊コネクタ制作します。 お問合せください

セラミック高電圧プローブ

各種ケーブル

【各種ケーブル】
- トライアキシャルケーブル
- プリアンプケーブル
- 同軸ケーブル
- D-SUBケーブル
- TCP/IPケーブル
- GPIBケーブル
- その他各種ケーブル
- 特殊ケーブル制作します。お問合せください

セラミック高電圧プローブ

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