大電流測定用プローブ
【CJ probe】
- 新コンセプトの大電流用プローブ
- ポジショナやプローブカードへの取付
- 既存プローバに搭載可能
- 超低接触抵抗（SuperLowCres）<3mΩ
※測定条件は営業へ確認ください
- 同軸プローブ（1本中にForce / Senseの2本搭載）
- 測定前の接触抵抗値確認が可能
- 最大電流250A（Pulse幅、Dutyは営業へ確認ください）
- 痛んだプローブは取替え可能
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大電流測定用プローブ
【男プローブ】
- 新しいコンセプトの大電流印加・測定用プローブ
- 最大電流100Aを記録！（パルス条件下）
- ポジショナーやプローブカードへの取り付け自由
- 既存設備にそのまま搭載可能
- 大電流測定時の発熱を分散させる面プローブ構造
- 電圧・電流など、用途に合わせてサイズ変更可能
- タッチダウン時のコンタクト抵抗は1Ω以下
- プローブの先端径は自由にデザイン可能
- 痛んだプローブは取替え可能（弊社返送・取替え）
- プローブの材質は数種類から選択可能
- 超大電流用途は耐超高温物質埋め込み可能
- ケルビン接続用でケーブルをForceとSense分け可能
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男プローブ・ブレードオプション
【男プローブ】
- ブレードは通常1~5枚、最大10ブレードまで可能
- 千鳥配置、多数配線もオプションで可能
- ブレードの先端径は最小50μmから用意
- ブレードの先端形状は丸・正方形・長方形等自由
- バネの圧力を変えて針圧を3g~30gまで設計可能
- タッチダウン時のコンタクト抵抗は1Ω以下
- 最大200A実験を既に実証済み
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男プローブ・プローブカードオプション
【男プローブ】
- Emitter/Collector用に男プローブ、Gate用に通常プローブ
- Drain/Source用に男プローブ、Gate用に通常プローブ
- ゲート抵抗を取り付けるオプション有
- プローブカードの基板サイズは自由に選択可能
- エッジコネクタタイプも対応（但し最大電流・電圧制限有）
- カードホルダー高さとプローブ高さ設計変更可能
- 基板名（名入れ）対応
- 対応コネクタを弊社へ支給⇒弊社がアセンブリ対応
- プローブポジション微調整機構有
>>特設ページへ
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男プローブ・オートプローバ用アダプタ
【男プローブ】
- TEL-19S用ポジショナーのアダプター
- 各種プローバ・ポジショナータイプの取り付けデザイン
- 特殊デザイン受けます
- 右のサンプルは5枚Bladeで独立ケーブル出し
- 3D CADでデザイン提案⇒製作します
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8インチウェハー型チップ測定キャリア
【チップキャリア】
- 裏面が電極である場合の測定が可能
- 寄生成分を極限に抑えた測定が可能
- チップ単体のエネルギー破壊観察が可能
- プローバのチャックを使わず測定する優れもの
- オートプローバに搭載、ローディング出来る8'サイズ
- 高低温タイプ（-40C~200C）タイプ、常温タイプ各種
- 裏面電極でケルビン接続可能
- 電極面は金メッキを施します
- デバイスにあわせた設計を行います
- 納期は設計を含め1ヶ月~3ヶ月程度（内容次第）
- プローバのチャックを傷つけず破壊実験可能
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ウエハキャリア
【ウエハキャリア】
- チャックを簡単にケルビンチャックに改造
- オートプローバに搭載、ローディング可能
- 各種プローバに合わせたカスタム設計
- 裏面電極測定用端子を追加（Kelvin対応）
- パワーデバイス破壊試験時用として
- DUT破壊による付着物からチャックを保護
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フィンプローブ
【フィンプローブ】
- ポジショナー（マニュピレータ）取り付け型カード
- 高低温（-65C~350C）対応オプション有
- マニュアルやオートプローバでの利用が可能
- プローブカードとしても利用可能（ケースオプション）
- 最大電流20Aを保証（測定・環境・設計条件有）
- 最大電圧3000Vを保証（測定・環境・設計条件有）
- 1pAの低リークが可能
>>特設ページへ
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丸タイル型ポジショナー（針）
【エンジェルリングカード】
- ポジショナー（マニュピレータ）取り付け型カード
- 高低温（-65C~350C）対応オプション有
- マニュアルやオートプローバでの利用が可能
- プローブカードとしても利用可能（ケースオプション）
- 最大電流20Aを保証（測定・環境・設計条件有）
- 最大電圧3000Vを保証（測定・環境・設計条件有）
- 1pAの低リークが可能
>>特設ページへ
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高温ウエハ一括コンタクトプローブカード
【侍プローブカード】
- マルチサイトで一括コンタクト
- 4~12インチ対応
- 高温対応（常温~350℃）
- オリジナルチョンマゲ型プローブだからバネ性で膨張追従！
- 狭ピッチパッド対応（80umパッド~)
- 基盤名（名入れ）対応
- 国産だから、国内での調整／修理が可能、早い、安い！
- 短納期
>>特設ページへ
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ウェハ一括コンタクト用プローブカード
【マルチサイトプローブカード】
- 300mm全面一括プローブカード（マルチサイトカード）
- 4ピン、100サイト＝400ピンのカードなど製作可能
- セラミックを使用している為、高温対応（~300度）
- 針埋没固定方式（特許）なので接着剤による熱影響ゼロ
- 顕微鏡サイドに針位置あわせ用穴、空けられます
- 長期信頼性試験（TDDB、NBTI、HCI、EM等）に最適
- 各種プローバに取り付け可能
- 角型タイプ（最大114mm角セラミック）もあります
- オートプローバに角型タイプも取り付け可能
>>特設ページへ
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TEG測定用プローブカード
【TEG測定用汎用プローブカード】
- TEG測定用、廉価版プローブカード
- アジレント用プローブカード、KEITHLEY用カードなど
- GSGカード等も製作可能
- 高周波CV用、PinGND-PinGNDジャンパー加工
- 汎用性を高める「ポジショナーONカード」も対応
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ジョイスティック型ポジショナー
【ジョイスティックポジショナー】
- ２軸（Ｘ−Ｙ軸）がジョイスティックで動作
- ポジショナーが斜め移動！最速ポジショニング
- 測定箇所までの最速移動⇒測定の効率化
- 推奨パッドサイズは90μm以上
- ジョイスティック動作硬さ調整機構付き
- 磁石・真空取り付けの２タイプ用意（購入時指定）
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セラミック高電圧プローブ
【Celamic HV Probe】
- 高電圧プローブ＋アームセット
- 最大3000Vまでの耐圧保証
- リーク保証は10V印可時<10pA
- 最大チャック温度が300度まで保証
- MAX電流は1A
- コネクタはSHVコネクタ
- 特注で最大5本/アームまで搭載可能
- 各種ケーブル種類対応
- 依頼コネクタへのアセンブリも対応
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低ノイズ・マニュアルプローバ
【低ノイズ・マニュアルプローバ】
- 6インチ、8インチ、12インチ設計対応可能（右図8インチ）
- ポジショナーは最大8式まで搭載可能（要相談）
- プローブカードアダプタの設計可能
- 顕微鏡の倍率は選択可能
- 低ノイズは100fA以下を保証
- チャックは各種取り付け可能（最大350度まで）
- 低温はこのタイプでは不可（別設計になります）
- 各種コネクタパネル設計します
- デザインは色々、下記からお問い合わせください。
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低ノイズ・セミオートプローバ
【低ノイズ・セミオートプローバ】
- 6インチ、8インチ、12インチ設計対応可能（右図12インチ）
- ジョイスティックでの動作、ソフトからの動作対応
- ウェハーマップソフト（WMT）との連携対応
- ポジショナーは最大8式まで搭載可能（要相談）
- プローブカードアダプタの設計可能
- 顕微鏡の倍率は選択可能
- 低ノイズは100fA以下を保証
- チャックは各種取り付け可能（最大300度まで）
- 低温の対応も可能（-40度）
- 各種コネクタパネル設計します
- デザインは色々、下記からお問い合わせください。
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簡易型・マニュアルプローバ
【簡易版・マニュアルプローバ】
- 1インチ~12インチまで自由に設計可能
- ポジショナーのタイプも自由に選択可能
- シールドボックス（暗箱）オプション有
- 顕微鏡も倍率選択可能
- プローブカードの取り付け冶具設計可
- 各種コネクタパネル設計します
- デザインは色々、下記からお問い合わせください。
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大電流用小型プローバ
【大電流・マニュアルプローバ】
- 2インチ、4インチ、6インチ、8インチ対応
- ポジショナーは最大8台まで搭載可能
- 男プローブ搭載可能（~100A、~3kV）
- オプションで最大電流200Aまで可能
- 大電流用ウェハーキャリア搭載可能
- 顕微鏡の倍率は選択可能
- プローブカードアダプタの設計可能
- 高温（~400度まで）対応可能
- 各種コネクタパネル設計します
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高精度・高低温ウェハーチャック
【高低温ウェハーチャック】
- 6インチ、8インチ、12インチ対応可能
- エアークールタイプで-50度~300度対応可
- 温度帯域を自由に選択
- ガルデン等の流体を使わないから環境に優しい
- GPIB、シリアルなどでの制御可能
- WMT(ウェハーマップツール）との連動可能
- 安全制御回路搭載
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廉価版・高温チャック
【廉価版・高温チャック】
- 安価をコンセプトにデザインされたウェハーチャック
- 高温は最大350度まで（通常200度）
- 裏面電極がない場合に有効
- 1インチ~8インチまで製作可能
- トライアキシャルオプションありますが、ノイズ有
- その他、ノイズを多少押さえた輸入品もあります
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各種コネクタ
【各種コネクタ】
- TRX-T
- BNC-T
- SMA
- トライアキシャル to SMAコネクタ
- トライアキシャル to BNCコネクタ
- MicroCoax
- コネクターパネル
- その他各種コネクタ
- 特殊コネクタ制作します。 お問合せください
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各種ケーブル
【各種ケーブル】
- トライアキシャルケーブル
- プリアンプケーブル
- 同軸ケーブル
- D-SUBケーブル
- TCP/IPケーブル
- GPIBケーブル
- その他各種ケーブル
- 特殊ケーブル制作します。お問合せください |
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