半導体薄膜、シリコンウエハ、太陽電池、フラットパネル薄膜の「抵抗率・シート抵抗測定器」

半導体薄膜、シリコンウエハ、太陽電池、フラットパネル薄膜の「抵抗率・シート抵抗測定器」- 株式会社ティアテック

半導体薄膜、シリコンウエハ、太陽電池、フラットパネル薄膜等、
抵抗率・シート抵抗測定システム

4深針法による抵抗率・シート抵抗測定システム
測定サンプルに合わせて、ステージのサイズや形を選ぶことが可能。
また、特殊な形状をしたサンプルでも、専用冶具をお作りして対応可能。
お客様に最適な抵抗率測定システムをご提案いたします。

【特徴】
・	ステージサイズ：6～12インチ
・	角型、丸型とサンプルに合わせてステージ形状を選択可能
・	幅広い測定サイズ（1200mm x 1200mm等）カスタムにも対応可能
・	簡易マニュアルステージからセミオート、フルオート等、お客様のご要望にお応えします。

【特徴】
・	KEITHELY、Agilent等メーカーにこだわらずお客様の測定レンジに合わせてご提案
・	安価な中古機にも対応
・	お手持ちの測定器の流用も可能

【特徴】
・	材質：タングステンカーバイト、BeCu（金メッキ）等
・	プローブピッチ1.02, 1.27, 1.59mm 等選択可能
・	上記以外のピッチや、材質、特殊形状のプローブもご相談ください。

【特徴】
・	シート抵抗率、体積抵抗率を自動的に算出
・	デバイスへの過剰な電流印加リミット機能
・	抵抗率以外の測定（IV試験、抵抗測定、信頼性試験）も可能
・	様々な測定器をＧＰＩＢ・Ｓｅｒｉａｌなどで制御可能、可能対応ドライバがあるかお問合せください。

お客様に最適なシステムを提案いたします。
まずは下記よりお問合せください。