SiC AC-BTI評価システム｜株式会社ティアテック

ティアテック AC-BTI装置は、SiCパワー半導体固有の劣化モードであるACストレスによるしきい値電圧変動を各環境温度にてオンボード上で測定できる機能を有した試験システムです。
各種試験規格に準拠した測定、試験が可能で500kHzまでの高速ストレス印加に対応して短時間評価が可能です。

【市販デバイスのAC-BTI評価結果(例)】

AC-BTI試験ではDC評価より、AC評価がSiCデバイスの信頼性実力をより、明確に評価することができます。(AC-BTI:f=500kHz)

【AC-BTI試験印加波形(例)】

入力容量Ciss=2080PFのSiCデバイスへの500kHz ACストレス印加波形(-10V/+20V),立ち上がり時間Tr<120nsでOver Shoot<+/-0.5Vを実現。

ストレス印加ボードを恒温槽、又はMicroチャンバーの外から試験ボードに直結して、安定した波形と測定を実現

【恒温槽式】

【Microチャンバー式】

型式

AB1E

ストレス印加電圧

AC:-25V/+25V DC:-100V/+100V

周波数/Duty

f=1～500kHz,Duty=1%～99% Tr/Tf:可変可能

試験温度

Ta=-40℃～175℃（恒温槽式）

試験サンプル数

48個(最大80個に増設可能)

SMU性能

20V/1.5A 分解能:2pA(測定レンジによる)

運転可能外気温度

23℃+/-5℃以内、相対湿度:70%以下

安全装置

漏電遮断器、過度電流検出機能

付属品

制御ソフト(HOTEI)、取り扱い説明書

電源電圧

200V 3相 3W,100V 10A 50/60Hz

外法

約 W:1450mm H:1880mm D:1280mm

質量

約500kg

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